本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地。

3、气：如作为CVD系统使用，客户需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）。

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通风装置：需要。

主要特点

1、双层壳体，配有循环风冷系统，壳体温度<60℃。

2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率，同时延长使用寿命。

3、采用PID控制器，可以设置30段升降温程序。

4、设有超温及断偶报警功能。

5、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：AC 220V   50Hz/60Hz  2.5KW

2、石英管：外径?50mm，内径?44mm，长1000mm

     外径?60mm，内径?54mm，长1000mm

                   外径?80mm，内径?74mm，长1000mm

     外径?100mm，内径?94mm，长1000mm

3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

4、加热区域：440mm

5、恒温区域：200mm

6、工作温度：高1200℃（必须通入惰性气体以防止炉管发生形变），连续工作1100℃

7、大升降温速率：20℃/min

8、控温精度：±1℃

9、真空度：10^-2torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）

10、泄漏率：<5mtorr/min

产品规格

尺寸：590mm×380mm×520mm；重量：40kg

标准配件

1

石英管

1根

2

不锈钢真空法兰

1套

可选配件

1、铰链式法兰

2、数字真空计

3、PC控制软件